故障定位方法和故障定位装置
基本信息
申请号 | CN202110767042.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113466740A | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN113466740A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | G01R31/52(2020.01)I;G01J5/10(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 王君兆;黄伟 | 申请(专利权)人 | 深圳市美信咨询有限公司 |
代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 王闯 |
地址 | 518108广东省深圳市宝安区石岩街道松白公路北侧方正科技工业园研发楼109室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供一种故障定位方法和故障定位装置,涉及半导体领域。故障定位方法:利用故障IC载板的版图和阻抗测试结果预判疑似故障区域,然后对疑似故障区域进行研磨处理;将研磨处理后的故障IC载板通电,对通电的故障IC载板进行热成像,获得温度异常区域,温度异常区域为漏电故障位置。故障定位装置,包括阻抗检测模块、研磨模块、供电模块和红外成像模块,阻抗检测模块用于检测故障IC载板的阻抗,研磨模块用于对故障IC载板的疑似故障区域进行研磨处理,供电模块用于对研磨处理后的故障IC载板通电,红外成像模块用于对通电的故障IC载板进行热成像。本申请提供的故障定位方法和故障定位装置,定位精准、成功率高、耗时短。 |
