结构色颜料光学薄膜厚度的监测方法以及镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201911216216.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112981357A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112981357A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | C23C14/54 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 马道远 | 申请（专利权）人 | 宁波融光纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李庆波 |
| 地址 | 315000 浙江省宁波市奉化区经济开发区滨海新区天海路399号（小微产业园7号厂房）（自主申报） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种结构色颜料光学薄膜厚度的监测方法以及镀膜机，该方法包括：利用石英晶体监控系统对结构色颜料光学薄膜中各膜层的物理厚度进行全程监控；设定生产过程中需要简易光学监控系统监控的预设膜层；在开始制备预设膜层时，若简易光学监控系统监测到预设膜层的光学厚度达到时，则停止预设膜层的制备，并获取石英晶体监控系统监测到的预设膜层的物理厚度d，进而按照更新折射率n；获取材料与预设膜层的材料相同的其他各膜层的光学厚度并按照更新其他各膜层的物理厚度d′，进而在镀膜机制备材料与预设膜层材料相同的膜层时，石英晶体监控系统以更新后的物理厚度d′进行监控。本申请的方法能够精确地控制膜层的厚度。 |
