一种基于杂化型高质量因子的MIM波导结构
基本信息
| 申请号 | CN201910627549.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110297293B | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN110297293B | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | G02B6/293(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 雄芯光电科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京卓岚智财知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 郭智 |
| 地址 | 071800河北省保定市雄县朱各庄镇陈台村美泉世界温泉假日酒店康体中心101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于杂化型高质量因子的MIM（金属‑介质‑金属）波导结构，包括主体，所述主体上方设置有光通道；所述光通道的上方设置有第一谐振腔；所述第一谐振腔内设置有第一谐振环；基于杂化型高质量因子的MIM波导结构，具有体积小，易于集成，灵敏度高的优点，通过在主体内设置方形环，在方形环内部设置圆环，从而形成不同的等离激元共振，形成杂化形的等离激元共振，所产生的共振类型较为稳定，从而提高了波导的Q因子，使得波导的Q因子更加的稳定。 |
