电极部分覆盖脊条的DFB激光器
基本信息
申请号 | CN202010616307.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111755950A | 公开(公告)日 | 2020-10-09 |
申请公布号 | CN111755950A | 申请公布日 | 2020-10-09 |
分类号 | H01S5/22(2006.01)I;H01S5/042(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 徐长达;陈伟;班德超;祝宁华 | 申请(专利权)人 | 雄芯光电科技有限责任公司 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 中国科学院半导体研究所;雄芯光电科技有限责任公司 |
地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本公开提供一种电极部分覆盖脊条的DFB激光器,包括:衬底层;下限制层,位于衬底层上;下波导层,位于下限制层上;有源层,位于下波导层上;上波导层,位于有源层上;上限制层,位于上波导层上,其内设置有光栅,沿上限制层设置有一纵向脊波导;欧姆接触层,覆于脊波导上表面共同构成脊条结构;绝缘层,位于上限制层表面及脊条结构侧壁;以及P面电极,覆于脊条结构中间段的表面并沿绝缘层延伸出一外部接入电极;其中,脊条结构的两端未覆盖P面电极的部分分别形成第一区域和第二区域。 |
