一种ITO靶材的搬运装置
基本信息
申请号 | CN201821324139.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208585262U | 公开(公告)日 | 2019-03-08 |
申请公布号 | CN208585262U | 申请公布日 | 2019-03-08 |
分类号 | B62B3/00(2006.01)I; B62B5/00(2006.01)I | 分类 | 无轨陆用车辆; |
发明人 | 刘洪浩 | 申请(专利权)人 | 江苏比昂电子材料有限公司 |
代理机构 | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 江苏比昂电子材料有限公司 |
地址 | 215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种ITO靶材的搬运装置,包括减震组件、托架组件和壳体,所述减震组件的顶部的两侧皆固定安装有升降机构,所述升降机构的顶部皆固定安装有固定块,且固定块之间固定安装有支撑板,所述支撑板内部的两侧皆固定设置有通孔,所述支撑板顶部的两侧皆固定安装有液压缸,所述液压缸的输出端固定安装有托架组件,所述减震组件顶部的固定安装有壳体,所述壳体的一侧固定设置有限位槽,所述壳体内部的两侧固定安装有滑轨组件,所述滑轨组件的顶部活动安装有滑板,所述滑板的顶部固定设置有防滑垫。本实用新型通过设置有一系列的结构使本装置在使用的过程中具有拖起方便,且便于调节等优点。 |
