一种ITO靶材的烧结装置
基本信息
| 申请号 | CN201821322611.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208704444U | 公开（公告）日 | 2019-04-05 |
| 申请公布号 | CN208704444U | 申请公布日 | 2019-04-05 |
| 分类号 | F27B21/00（2006.01）I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 刘洪浩 | 申请（专利权）人 | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市指南针专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种ITO靶材的烧结装置，包括进料口、外壳体、内壳体与蓄水底座，所述外壳体的顶部设置有进料口，且进料口的顶部固定安装有防尘装置，所述外壳体的内部设置有内壳体，所述内壳体内部的两侧皆设置有保温层，且保温层的一侧固定安装有加热硅钼棒，所述内壳体的底部固定安装有电机，所述电机的输出端转动安装有轴杆，且轴杆的两侧皆固定安装有搅拌杆，所述外壳体的底部固定安装有蓄水底座，所述蓄水底座的顶部固定安装有水泵，所述外壳体的表面固定安装有散热装置。本实用新型通过设置有一系列的结构使得该ITO靶材的烧结装置加快ITO靶材的烧结的速度，且还可以进行循环对壳体进行循环的冷却，以便ITO靶材的生产。 |
