一种ITO靶材压紧装置
基本信息
| 申请号 | CN201821150930.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208586350U | 公开（公告）日 | 2019-03-08 |
| 申请公布号 | CN208586350U | 申请公布日 | 2019-03-08 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘洪浩 | 申请（专利权）人 | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市指南针专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种ITO靶材压紧装置，包括第一绝缘底座和第二绝缘底座，所述第一绝缘底座的顶部等距开设有多个第一螺旋孔，所述第一螺旋孔通过第二固定螺栓与调节板，所述调节板通过第一固定螺栓与第二绝缘底座，所述第二绝缘底座的顶部等距开设有多个第二螺旋孔，所述第一绝缘底座与第二绝缘底座的内部通过伸缩弹簧与压紧块连接。本实用新型中，第一绝缘底座与第二绝缘底座之间设置有调节板，且第一绝缘底座与第二绝缘底座通过伸缩弹簧与压紧块连接，可通过调节调节板的长度来适应不同长度的ITO靶材的压紧，扩大了压紧装置的使用范围，增强适用性。 |
