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一种ITO靶材加工用热等静压装置

基本信息

申请号 CN201821150929.2 申请日 -
公开（公告）号 CN208930477U 公开（公告）日 2019-06-04
申请公布号 CN208930477U 申请公布日 2019-06-04
分类号 B28B3/00（2006.01）I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 刘洪浩 申请（专利权）人 江苏比昂电子材料有限公司
代理机构 苏州市指南针专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 江苏比昂电子材料有限公司
地址 215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种ITO靶材加工用热等静压装置，包括静压仓，所述静压仓下表面两侧设置有减震底座，所述静压仓两侧设置有真空板，且真空板内表壁设置有加压管，所述静压仓顶部设置有密封盖，所述密封盖下表面设置有压合垫片，所述密封盖上表面两侧边缘处对称设置有支架，且支架顶部焊接有提拉把手和与之配套使用的弹簧压板，所述静压仓内部底板上设置有顶杆，且顶杆顶部设置有加热管，所述加热管顶部设置有挂板，所述挂板下表面设置有限位块，且限位块内表面设置有弹簧挂板，所述静压仓内部设置有冷却管。本实用新型中，该热等静压装置整体结构设计简单合理，实现了快速热压以及散热的效果，操作安全灵活，具有较强的实用性。