一种覆胶固晶方法及其系统
基本信息
| 申请号 | CN201410094625.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103872193B | 公开（公告）日 | 2018-02-27 |
| 申请公布号 | CN103872193B | 申请公布日 | 2018-02-27 |
| 分类号 | H01L33/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孙亚雷;米广辉;罗尚峰 | 申请（专利权）人 | 深圳翠涛自动化设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳翠涛自动化设备股份有限公司 |
| 地址 | 518109 广东省深圳市宝安区大浪街道浪口社区华荣路德泰科技工业园第8栋厂房一层至四层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种覆胶固晶方法及其系统，包括步骤：包括步骤：A、通过固晶臂拾取晶圆盘上的晶粒；B、将拾取的晶粒的底部浸入胶盘包覆胶水进行黏胶处理；C、将黏胶处理后的晶粒粘焊在载体上的待固晶位。由于使用同一个机械及控制结构进行拾晶，并靠晶片自身取胶，避免了传统方式的晶粒与胶点粘接位置有盲点，粘接面分布不均，易出现晶粒与胶滴重置点偏差较大、胶型不饱满、吸附牢固性差等不良现象。该固晶方法采用独立的系统即可实现，完全避免两个独立机构同工位生产碰撞问题，简化机械结构，降低控制难度，同时又提高产品精度。 |
