一种覆胶固晶设备
基本信息
| 申请号 | CN201410094626.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103871910B | 公开（公告）日 | 2017-10-13 |
| 申请公布号 | CN103871910B | 申请公布日 | 2017-10-13 |
| 分类号 | H01L21/56(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孙亚雷;米广辉;罗尚峰 | 申请（专利权）人 | 深圳翠涛自动化设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳翠涛自动化设备股份有限公司 |
| 地址 | 518109 广东省深圳市宝安区大浪街道浪口社区华荣路德泰科技工业园第8栋厂房一层至四层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种覆胶固晶设备，包括：晶圆盘，用于放置待固晶的晶粒；胶盘，用于对该晶粒的底部包覆胶水进行黏胶处理；载体，用于提供该晶粒的待固晶位；固晶臂，用于拾取该晶粒，并通过该固晶臂将所述晶粒送至胶盘工位进行黏胶处理，再通过该固晶臂将黏胶处理后的晶粒粘焊在载体上的待固晶位。采用单个机械臂完成个工艺过程（包括拾晶、取胶和固晶），解决了传统工艺时序及结构空间问题，采用增加工作单元的方式大幅提高设备产能，同时最主要的是解决了传统工艺中每次出胶高径比底，点胶精度和固晶精度交互影响，胶点形状、厚度、大小一致性差，厚度难以控制，引起黏结面有盲点或牢固性差等问题。 |
