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一种晶元环尺寸可互换的自动固晶机

基本信息

申请号	CN201720480632.1	申请日	-
公开（公告）号	CN207038489U	公开（公告）日	2018-02-23
申请公布号	CN207038489U	申请公布日	2018-02-23
分类号	H01L21/67	分类	基本电气元件;
发明人	李蔚然	申请（专利权）人	深圳翠涛自动化设备股份有限公司
代理机构	深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	深圳翠涛自动化设备股份有限公司
地址	518059 广东省深圳市龙华新区大浪华荣路德泰科技工业园8栋
法律状态	-

摘要

本实用新型提供了一种晶元环尺寸可互换的自动固晶机，包括：基座；用于放置需要点胶及固晶的材料的载件机构，其固定在基座一端；用于在取胶工位的胶盘内取胶并在点胶位对所述载件机构（2）上的固晶位进行点胶的点胶机构，其设置在载件机构上方、基座后侧支撑部上；用于固定晶片膜及对晶片膜扩晶的扩晶环晶元工作台机构，其固定在基座另一端；用于拾取并固定晶片的取晶固晶机构；扩晶环晶元工作台机构的工作台平面与载件机构的工作台平面部分交互；顶针机构，用于顶起扩晶环晶元工作台机构上固定的晶片膜并将晶片膜进一步固定，固定在基座上、扩晶环晶元工作台机构下方。本实用新型固晶机能够不更改臂长、不增大机器尺寸满足8寸及12寸大尺寸晶圆材料。