一种用于具有导电属性工件平面度的检测方法和仪器
基本信息
| 申请号 | CN202010967366.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112254631A | 公开（公告）日 | 2021-01-22 |
| 申请公布号 | CN112254631A | 申请公布日 | 2021-01-22 |
| 分类号 | G01B7/34;G01B7/14 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈晓强;张毅;牛俊凯;时云鹏;闫道恒;李国伟 | 申请（专利权）人 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 代理机构 | 郑州联科专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 王聚才 |
| 地址 | 450001 河南省郑州市高新区梧桐街121号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于具有导电属性工件平面度的检测方法和仪器。本发明通过利用导电材料正负极间的间隙效应，极间距离和击穿电压的关系接近直线，间隙击穿电压梯度基本不变的原理，将探针和砂轮及其附属件分布做为正负两极，通过标准件设定最小击穿电压和极间距离的函数，以符合该函数的电压值调整探针与被测件的距离使空气刚好被击穿，测得此时探针的位置，从而得出该点与标准件的误差，通过多点测量得出被测件的平面度，整个测量过程无接触，实现了无损测量。 |
