一种超精密磨削砂轮及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202011404932.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112536733B | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN112536733B | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | B24D3/22（2006.01）I;B24D3/28（2006.01）I;B24D18/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 叶腾飞;张高亮;赵延军;谷春青;钱灌文;王礼华;熊华军;吴武山;王海龙 | 申请（专利权）人 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 代理机构 | 郑州联科专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 蔡艳 |
| 地址 | 450001河南省郑州市高新区梧桐街121号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于超硬磨具技术领域，具体涉及一种超精密磨削砂轮及其制备方法和应用。所述超精密磨削砂轮，包括金刚石20‑30份、普通磨料15‑20份、聚四氟乙烯粉5‑10份、改性填料5‑15份、热塑性聚氨酯橡胶粉5‑10份、树脂粉35‑55份、增强纤维1‑10份。本发明制备的砂轮锋利度明显提升，有效降低对半导体晶圆材料边棱的切削损伤，提高表面加工质量，降低边缘大小不一的崩口率，增加磨削一致性。 |
