一种多棱角整板电极
基本信息
| 申请号 | CN201711113780.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107706080A | 公开（公告）日 | 2018-02-16 |
| 申请公布号 | CN107706080A | 申请公布日 | 2018-02-16 |
| 分类号 | H01J37/32 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郑志伟;廖文晗;陈磊;李志华 | 申请（专利权）人 | 珠海倍力高科科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 温旭 |
| 地址 | 519000 广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏西五路1号办公楼1楼A-1区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多棱角整板电极，包括整板电极本体，所述整板电极本体的顶面与底面分别设置有凸起的棱角，所述棱角等间距的设置有多组，相邻的两个所述棱角的间距为10mm或15mm，所述棱角的最高点距整板电极本体的表层的距离为2mm。本发明通过在整板电极本体的侧部设置棱角，利用尖端放电的原理，在等离子清洗中，避免了棱角尖端部位附着清洗副产物，从而保证生产过程中清洗速度和均匀性的稳定，延长电极的使用周期。 |
