一种多棱角整板电极

基本信息

申请号 CN201721505251.0 申请日 -
公开(公告)号 CN207781532U 公开(公告)日 2018-08-28
申请公布号 CN207781532U 申请公布日 2018-08-28
分类号 H01J37/32 分类 基本电气元件;
发明人 郑志伟;廖文晗;陈磊;李志华 申请(专利权)人 珠海倍力高科科技有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 温旭
地址 519000 广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏西五路1号办公楼1楼A-1区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多棱角整板电极,包括整板电极本体,所述整板电极本体的顶面与底面分别设置有凸起的棱角,所述棱角等间距的设置有多组,相邻的两个所述棱角的间距为10mm或15mm,所述棱角的最高点距整板电极本体的表层的距离为2mm。本实用新型通过在整板电极本体的侧部设置棱角,利用尖端放电的原理,在等离子清洗中,避免了棱角尖端部位附着清洗副产物,从而保证生产过程中清洗速度和均匀性的稳定,延长电极的使用周期。