一种单晶硅直拉热场可视热屏装置
基本信息
| 申请号 | CN201320482081.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203411654U | 公开（公告）日 | 2014-01-29 |
| 申请公布号 | CN203411654U | 申请公布日 | 2014-01-29 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 楚信博;李宁 | 申请（专利权）人 | 晶伟电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 河北东尚律师事务所 | 代理人 | 王文庆 |
| 地址 | 065201 河北省廊坊市燕郊经济技术开发区迎宾北路晶龙集团工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏和嵌套在外热屏中的内热屏，并且内热屏与外热屏之间为密闭的保温层腔体；所述保温层腔体中设有夹层块，且夹层块紧贴内热屏的外壁和外热屏的内壁；所述外热屏的屏壁底部、夹层块以及内热屏的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。本实用新型可以对晶体生长过程中熔硅液面位置进行实时观察。内热屏、外热屏和夹层块相互配合，观察者可以通过观察口对固液界面进行观察，内热屏和外热屏可以起到保温的作用，合理控制熔硅固液界面温度梯度。 |
