刚玉‑石墨复合坩埚

基本信息

申请号 CN201621373327.4 申请日 -
公开(公告)号 CN206318711U 公开(公告)日 2017-07-11
申请公布号 CN206318711U 申请公布日 2017-07-11
分类号 C01B33/037;C30B29/06 分类 无机化学;
发明人 张新军;王桥 申请(专利权)人 中安信新材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街52号中外交流大厦3号楼830A
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型为一种刚玉‑石墨复合坩埚,在坩埚壁上从里向外分别是刚玉密封层、石墨层、石墨毯层、刚玉密封层。而在坩埚底部只有刚玉层。石墨层沿径向分成2到8块,每块之间留有缝隙。坩埚壁的外侧绕有水冷通电线圈。本实用新型利用交变电磁场在石墨层中感应出涡流,产生巨大的焦耳热,从而加热硅料。使用温度可以达到1650℃以上,石墨层及石墨毯层被刚玉密封层封闭,大大减缓了其氧化烧损速度,提高了使用寿命。避免在硅液面处的坩埚壁出现很大的温差,防止了热应力使坩埚产生裂纹的问题,进一步提高了使用寿命。