一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜
基本信息
| 申请号 | CN202022767909.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214097963U | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN214097963U | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I;G02B26/10（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 郭俊兴;杜先鹏;金传广 | 申请（专利权）人 | 苏州小优智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京金硕果知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郝晓霞 |
| 地址 | 215100江苏省苏州市吴中区东吴北路8号国裕大厦一期1401室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种梯形梳齿，所述梯形梳齿的根部宽度大于头部宽度，且所述梯形梳齿的宽度从梯形梳齿根部到梯形梳齿头部单调减小。梯形梳齿设计，其梳齿根部的宽度大于梳齿头部宽度，在保持梳齿平均宽度不变的情况下，可以大幅度增加梳齿根部的刚度；在芯片尺寸一定的情况下，采用本实用新型的梯形状梳齿结构，相较于现有技术中的矩形梳齿结构，可以大幅度提高梳齿驱动器的驱动扭矩、增大驱动角度，或者减小芯片尺寸、降低驱动电压，大幅度提高芯片的技术性能、降低芯片的成本。 |
