一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备
基本信息
| 申请号 | CN202120643605.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214279941U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214279941U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01J37/20（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曹贺;刘晓佳;吕迅;刘胜芳;赵铮涛 | 申请（专利权）人 | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孟迪 |
| 地址 | 241000安徽省芜湖市芜湖长江大桥综合经济开发区高安街道经四路一号办公楼五楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备，属于等离子刻蚀技术领域，其中的静电吸盘装置，包括基座及其上设置的静电吸盘，静电吸盘上放置待刻蚀的硅片或玻璃片，基座的外周方向上设置有多组压紧调节机构，多个压紧调节机构将玻璃片的外周压紧，本实用新型的有益效果是，该静电吸盘装置整体结构简单，操作方便灵活，可将硅片或玻璃片有效吸附，而不会造成玻璃片的击穿，提高了吸附的安全性和刻蚀的稳定性。 |
