微机电系统装置
基本信息
| 申请号 | CN202110891045.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113603053A | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN113603053A | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;G01L9/12（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 钱元晧;曾立天;郭致良 | 申请（专利权）人 | 苏州明皜传感科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 郭蔚 |
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号E0804室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种微机电系统装置，在后续形成一气密腔的区域内设置至少一个接合面积较小的接合部，以及在接合部的接合表面设置金属吸收剂。依据此结构，在基板接合定义出气密腔时，因接合面积较小的接合部承受较大的接合压力，使得金属吸收剂被挤出接合位置并填充于基板的限制槽内，被挤出的金属吸收剂经活化即可吸收气密腔内的水气，并且限制槽避免金属吸收剂接触到固定电极。依据上述装置，无需额外增加制程即可移除气密腔内的水气。 |
