力量传感器以及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201810391387.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110411614B | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN110411614B | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 曾立天;钱元晧;郭致良;叶裕德 | 申请（专利权）人 | 苏州明皜传感科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 郭蔚 |
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号E0804室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种力量传感器包含一第一基板、一第二基板、一第三基板以及一封装体。第一基板包含一固定电极、至少一第一导电接点以及至少一第二导电接点。第二基板设置于第一基板，并与第一基板的第一导电接点电性连接。第二基板包含一微机电系统组件，其与固定电极相对应。第三基板设置于第二基板上，且包含一凸柱，其与微机电系统组件连接。封装体则覆盖第三基板。上述力量传感器具有较佳的可靠度。 |
