微机电系统装置
基本信息
| 申请号 | CN201710059828.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108341394B | 公开（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申请公布号 | CN108341394B | 申请公布日 | 2020-11-20 |
| 分类号 | B81B7/00;B81B7/02 | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 周羿亨;曾立天;郭致良 | 申请（专利权）人 | 苏州明皜传感科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 徐伟 |
| 地址 | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号E0804室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种微机电系统装置包含一处理晶粒、一微机电系统晶粒以及多个引线。微机电系统晶粒包含一基板以及一微机电系统元件。基板具有一第一表面，且第一表面包含一电路以及与电路电性连接的多个第一导电接点。微机电系统元件具有一第二表面、一第三表面以及至少一第二导电接点，其中微机电系统元件以第二表面设置于基板的第一表面，且至少一第二导电接点设置于微机电系统元件的第三表面。多个引线经由多个第一导电接点以及第二导电接点分别电性连接微机电系统晶粒的基板以及微机电系统元件至处理晶粒。 |
