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冷壁流化床的制备方法及其应用

基本信息

申请号 CN201310119328.0 申请日 -
公开（公告）号 CN103172381B 公开（公告）日 2014-03-26
申请公布号 CN103172381B 申请公布日 2014-03-26
分类号 C01B33/03(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 杨恺;周大荣;郑小勇;孙建荣;蒋敏;顾豪杰 申请（专利权）人 无锡中彩科技有限公司
代理机构 无锡市大为专利商标事务所 代理人 曹祖良
地址 214183 江苏省无锡市惠山区玉祁街道玉东开发区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明具体涉及一种冷壁流化床的制备，并通过制备的冷壁流化床制备颗粒状多晶硅的方法，属于光伏技术领域。本发明制备的冷壁流化床，选用特殊高温复合材料，提高设备耐高温、耐腐蚀、耐压性能；此种复合材料密度低，韧性强，不易破碎，易于安装。此种复合材料通过多次镀层、封闭，大大降低高温腐蚀气氛中对颗粒硅产品的污染，保证颗粒硅产品纯度达到6N。本发明采用高频感应加热方式加热流化气体和小颗粒硅粉：以高温H2和高温硅粉加热原料三氯氢硅气体，使其在小颗粒硅粉表面迅速达到反应温度，反应主要在颗粒硅粉表面发生，大大提高了三氯氢硅沉积颗粒硅产品的效率。