多晶硅氢气加热炉
基本信息
| 申请号 | CN201120525110.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202415171U | 公开（公告）日 | 2012-09-05 |
| 申请公布号 | CN202415171U | 申请公布日 | 2012-09-05 |
| 分类号 | C01B33/03(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 孙建荣;顾豪杰;张晓春 | 申请（专利权）人 | 无锡中彩科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人 | 曹祖良 |
| 地址 | 214183 江苏省无锡市惠山区玉祁镇工业集中区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种多晶硅氢气加热炉，包括炉壁和炉腔，特征是：在所述炉腔内设置有隔热罩，在隔热罩中间的腔体内放置盘管，在隔热罩和炉壁之间形成的空腔内设置加热丝。所述盘管的一端为氢气进口，另一端为氢气出口。所述盘管呈螺旋形。本实用新型利用在炉壳内装置隔热罩，使加热器内盘管受热均匀不会出现裂痕，炉内热辐射减少，延长加热器寿命。 |
