一种硅片生产切片去胶装置

基本信息

申请号 CN201911381313.5 申请日 -
公开(公告)号 CN111113705B 公开(公告)日 2021-12-07
申请公布号 CN111113705B 申请公布日 2021-12-07
分类号 B28D5/04(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 杨兆安 申请(专利权)人 中科同帜半导体(江苏)有限公司
代理机构 台州市台创工联专利代理事务所(普通合伙) 代理人 金俊男
地址 225400 江苏省苏州市泰兴高新技术产业开发区科创路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于硅片生产技术领域,尤其是一种硅片生产切片去胶装置,针对切割晃动的问题,现提出以下方案,包括工作台和去胶箱,所述工作台的底部外壁设置有支撑腿,且工作台的顶部外壁安装有传动带,所述工作台的外壁两侧设置有切片箱,且切片箱的内壁两侧均设置有第二电动伸缩杆,第二电动伸缩杆的另一端设置有固定板,所述切片箱的顶部内壁设置有切割机构,且切片箱的一侧内壁设置有加热机构。本发明通过设置有电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、固定板、光幕传感器、受光器和处理器,硅片经过光幕传感器时,受光器接收不到光信号,受光器将信号传递给处理器,处理器作用于电动伸缩杆和第二电动伸缩杆,便于对硅片进行固定和切割。