一种硅片加工用清洗装置

基本信息

申请号 CN201911396911.X 申请日 -
公开(公告)号 CN111112172B 公开(公告)日 2021-12-07
申请公布号 CN111112172B 申请公布日 2021-12-07
分类号 B08B1/04(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 杨兆安 申请(专利权)人 中科同帜半导体(江苏)有限公司
代理机构 台州市台创工联专利代理事务所(普通合伙) 代理人 金俊男
地址 225400 江苏省苏州市泰兴高新技术产业开发区科创路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅片加工用清洗装置,包括清洗框,所述清洗框的一侧外壁固定连接有正反转电机,且正反转电机的输出轴延伸入清洗框内的一端固定连接有螺纹丝杠,螺纹丝杠的一端与清洗框的一侧内壁之间通过轴承转动连接,所述螺纹丝杠的外壁螺纹连接有活动座,且活动座的顶部中间位置固定连接有支撑垫,支撑垫的顶部固定连接有置物台,置物台的顶部开有多个置物槽,所述清洗框的顶部一侧固定连接有第一电动推杆。本发明利用排水管和喷头将水喷射在置物台上,带动环形毛刷板和刷毛进行转动,从而对硅片进行清洗处理,代替人工清洗操作,并且可便于对清洗后的硅片进行烘干处理,提高装置的工作效率。