一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202010290061.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111607776A | 公开（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申请公布号 | CN111607776A | 申请公布日 | 2020-09-01 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈牧 | 申请（专利权）人 | 巨玻固能（苏州）薄膜材料有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 温宏梅 |
| 地址 | 100095北京市海淀区清华大学荷清苑7号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法，所述生产设备包括：多个依次呈直线型连接的镀膜工艺腔室、至少一套传输装置和至少一套控制装置；所述运输装置用于运输基材依次通过各个镀膜工艺腔室；控制装置用于按照预设控制程序控制所述传输装置在各个镀膜工艺腔室之间移动，以及按照制程控制所述多个镀膜工艺腔室对传输至其腔室内的基材进行镀膜。本实施例通过将各个镀膜工艺腔室设计为直线型结构连接，用于固态超薄锂电池、变色调光玻璃等产品的一次性真空成型，以及用于各个镀膜工艺腔室的模块化增/减/调换顺序的设计，因此本发明所提供的生产设备及其生产方法可取得较佳的功能薄膜产品一致性、重复性和稳定性。 |
