一种镀膜材料及其制备方法与应用
基本信息
| 申请号 | CN202110373584.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113200569A | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN113200569A | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | C01G35/00;C23C14/08;C23C14/30 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 徐川;陈牧;王乃成;王胜利 | 申请（专利权）人 | 巨玻固能（苏州）薄膜材料有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐凯凯 |
| 地址 | 215126 江苏省苏州市苏州工业园区江浦路41号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种镀膜材料及其制备方法与应用，包括：所述镀膜材料的化学组成中包括Ta2O5‑x相的氧化钽，其中，0.1＜x<1.5。本发明的镀膜材料在真空蒸发过程中可以减少由于Ta2O5材料分解放气导致的喷溅，提高薄膜光洁度，降低滤光片的废品率，同时可以简化电子束蒸发蒸镀中的预融过程，缩短镀膜加工时间，降低镀膜加工成本，通过所述镀膜材料可以设计出更高性能的滤光片，用于5G以至更高带宽的光学器件，对未来光通信专用滤光片的发展有重大意义。 |
