ITO透明导电膜卷绕镀膜机专利查询专利号|摘要-满商公司网

ITO透明导电膜卷绕镀膜机

基本信息

申请号	CN201029216027.9	申请日	-
公开（公告）号	CN201610446U	公开（公告）日	2010-10-20
申请公布号	CN201610446U	申请公布日	2010-10-20
分类号	C23C14/56(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	曾鸿斌	申请（专利权）人	浙江瀚森应用材料有限公司
代理机构	深圳市睿智专利事务所	代理人	陈鸿荫;郭文姬
地址	518108 广东省深圳市宝安区石岩径贝海森工业园
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种ITO透明导电膜卷绕镀膜机，包括放卷室和镀膜室，放卷室(17)和镀膜室(18)之间由隔离板(6)分隔，该隔离板(6)上设置狭缝(5)以使基膜穿越；放卷室(17)配置有预加热装置(3)，用于对放卷装置(1)放卷的基膜进行预加热；镀膜室(18)配置有工艺加热系统；收卷室内设置冷却辊(11)和可见光透射监控器(12)。本实用新型的技术效果在于：预加热处理装置使基膜充分释放气体；放卷室和镀膜机之间的隔离板防止其气氛互相干扰；同时镀膜前充分地工艺加热，使ITO膜在较高的温度下沉积；所设置的监控装置，能有效地监控工艺参数和工艺过程。因此所生产的ITO膜光电性能得到改善，稳定性能明显提高。