一种刚性复合型压印模具及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910722838.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112342510A | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN112342510A | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 林晓辉;成海涛;杨兆国;顾永新 | 申请（专利权）人 | 上海量子绘景电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 201806上海市嘉定区外冈镇汇富路946号3幢203室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种刚性复合型压印模具及其制备方法，所述制备方法包括：提供一刚性基材；于所述刚性基材上表面形成图形化掩膜，并以所述图形化掩膜为掩膜图形对所述刚性基材进行刻蚀，于所述刚性基材中形成凸起结构；去除所述图形化掩膜，并于刻蚀后的所述刚性基材中的基底上表面及所述凸起结构表面形成金属脱模层。通过本发明所述刚性复合型压印模具及其制备方法，解决了现有金属压印模具制备成本高且不环保的问题。 |
