具有低表面粗糙度的压印模具及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201410857252.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104570595B | 公开（公告）日 | 2019-06-11 |
| 申请公布号 | CN104570595B | 申请公布日 | 2019-06-11 |
| 分类号 | G03F7/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 徐厚嘉; 杨兆国; 祝连忠; 平财明 | 申请（专利权）人 | 上海量子绘景电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 201806 上海市嘉定区外冈镇汇富路946号3幢203室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种具有低表面粗糙度的压印模具及其制备方法，所述压印模具为镀镍母版，包括镍底板以及结合于所述镍底板表面的多个镍凸起结构，所述镍凸起结构的表面及侧面为光洁面。本发明在玻璃基底上贴干膜，对干膜进行曝光显影后电镀镍层，得到压印模具。由于干膜通过光刻、显影等处理，压印模具的侧壁光洁度良好，具有非常低表面粗糙度。此外，采用本发明制备的压印模具深度可达10~50μm，大大提高了模具的应用范围，可作为电铸母版使用。 |
