一种半导体晶片自定位对中机构
基本信息
| 申请号 | CN201720222471.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206639787U | 公开（公告）日 | 2017-11-14 |
| 申请公布号 | CN206639787U | 申请公布日 | 2017-11-14 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曹志涛 | 申请（专利权）人 | 浙江卓晶科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩燕燕;连围 |
| 地址 | 313100 浙江省湖州市长兴县泗安镇工业区浙江卓晶科技有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种半导体晶片自定位对中机构，包括工作台、沿晶片传送方向滑动设置在该工作台上的承载单元以及设置于该承载单元一侧的对中单元，所述承载单元包括用于放置晶片的圆形承载平台以及对称可转动设置在该承载平台的圆周面上的限位组件；所述对中单元包括驱动组件以及固定于该驱动组件驱动端的对中块，该对中块的内表面为圆弧形，其两端部可分别与相对应的限位组件的内侧面相抵触。本实用新型通过设置在承载单元一侧的对中单元配合承载单元的限位组件，使得半导体晶片移动至加工处理工位时，调整承载单元整体的对中位置进而确保晶片对中精度，对中精度高，对中位置易于控制。 |
