一种双保护环结构的新型SPAD探测器
基本信息
| 申请号 | CN201810826015.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110767767A | 公开（公告）日 | 2020-02-07 |
| 申请公布号 | CN110767767A | 申请公布日 | 2020-02-07 |
| 分类号 | H01L31/107 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 毛成;卜晓峰;孔祥顺;吴俊辉 | 申请（专利权）人 | 苏州超锐微电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215011 江苏省苏州市高新区竹园路209号创业园3号楼1201室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双保护环结构的新型SPAD探测器，采用p+层和n‑type层之间形成的pn结作为反应结，p+层四周设计pwell阱作为第一保护环；同时，pwell保护环上方设计一层poly层，与pn结阴极相连施加高电位，作为第二保护环。第一保护环和第二保护环共同作用，能有效降低边缘电场，减小暗计数。 |
