一种倒装LED芯片在线检测方法

基本信息

申请号 CN201410853301.9 申请日 -
公开(公告)号 CN104502828B 公开(公告)日 2018-01-26
申请公布号 CN104502828B 申请公布日 2018-01-26
分类号 G01R31/26;G01M11/02 分类 测量;测试;
发明人 陈腾飞;刘晓龙;吴文超;邱园红;林康华;李达;贺松平;库卫东 申请(专利权)人 广东志成华科光电设备有限公司
代理机构 华中科技大学专利中心 代理人 梁鹏
地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种倒装LED芯片在线检测方法,该方法所涉及的检测装置包括盘片装载台、运输传输系统、收光测试组件、探针工作台以及探测对准系统,其中,该在线检测方法为:在工作中,运输传送系统可以运输盘片工作台到合适的工作区域,调整位姿之后,启动探测对准系统对探针工作台进行控制,使探针与待测试的芯片接触通电,使芯片发亮,从而收光测试组件可以对其进行检测。按照本发明的机械结构,能够成功地解决倒装LED芯片电机和发光面不同侧的问题,并且采用了精密图像运动控制技术,实现了倒装LED芯片的高速精密测试,加快了芯片的检测效率。