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一种适用于外延材料的RT探测器及其应用

基本信息

申请号 CN202110370511.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113252208A 公开（公告）日 2021-08-13
申请公布号 CN113252208A 申请公布日 2021-08-13
分类号 G01K11/125;H01L31/12 分类 测量；测试;
发明人 刘雪珍;张小宾;高熙隆;黄珊珊;杨文奕 申请（专利权）人 中山德华芯片技术有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 伍传松
地址 528437 广东省中山市火炬开发区火炬路22号之二第3-4层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种适用于外延材料的RT探测器及其应用，该RT探测器包含光源和接收器；所述光源与接收器一一对应；所述光源用于发出入射光，所述入射光传播到外设外延片表面形成光信号；所述光源与所述外设外延片一一对应；所述入射光的波长连续可调；所述光源的形状设计为眼球状；所述光源通过传动轴与动力装置相连接；所述子接收器用于接收由对应外延片形成的光信号，并对所接收的光信号进行光电转换以获得电信号；该探测器能实现对轻微翘曲表面的温度监控及晶格匹配的外延片制备过程中生长温度的精确监控。