一种提升磷化铟中锌掺杂浓度的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110367279.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112802738B | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN112802738B | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | H01L21/22（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄辉廉;黄珊珊;张小宾;黄彦泽;杨文奕 | 申请（专利权）人 | 中山德华芯片技术有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 伍传松 |
| 地址 | 528437广东省中山市火炬开发区火炬路22号之二第3-4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种提升磷化铟中锌掺杂浓度的方法，属于半导体材料技术领域。一种提升磷化铟中锌掺杂浓度的方法，包括在完成锌扩散的磷化铟表面生长ZnSe层，之后进行退火处理，并除去ZnSe层。本发明设置的ZnSe层，在退火处理过程中，阻碍了Zni逸出磷化铟基体，因此，Zni被激活，进而转化为替代位ZnS的几率提升，最终提升了磷化铟中锌掺杂的浓度。 |
