一种真空扩散用套管
基本信息
| 申请号 | CN202121204159.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215486884U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215486884U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | F04F9/00（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 徐爱民;顾标琴 | 申请（专利权）人 | 江苏扬杰润奥半导体有限公司 |
| 代理机构 | 南京源点知识产权代理有限公司 | 代理人 | 潘云峰 |
| 地址 | 225000江苏省扬州市广陵产业园创业路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于半导体制备技术领域，尤其涉及一种真空扩散用套管。其包括管体及两立板，两立板相对设置固定在管体内壁，与管体形成半包围空间。本实用新型用于解决放置操作繁琐的问题，利用在管体内竖立的两立板形成一半包围空间，将需要扩散用的扩散源放置其中，避免了重复放置坩埚，再在坩埚中放置扩散源的问题，节省了操作步骤，提高操作效率，降低了生产成本。 |
