一种喷硼夹具
基本信息
| 申请号 | CN202121186468.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214797371U | 公开（公告）日 | 2021-11-19 |
| 申请公布号 | CN214797371U | 申请公布日 | 2021-11-19 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐爱民;顾标琴;缪星晔 | 申请（专利权）人 | 江苏扬杰润奥半导体有限公司 |
| 代理机构 | 南京源点知识产权代理有限公司 | 代理人 | 潘云峰 |
| 地址 | 225000江苏省扬州市广陵产业园创业路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于半导体制作器具技术领域，尤其涉及一种喷硼夹具。其包括底座及压环，压环底面设置有与底座外周匹配的限位台阶，压环用于限位放置于底座表面的硅片。本实用新型用于解决喷硼时硅片如何固定夹持的问题。压环通过底面的限位台阶与底座匹配套接，通过压环与底座相互匹配限制住放置在底座上的硅片，保证硅片在喷硼时保持稳定。 |
