一种硅板提篮

基本信息

申请号 CN202120904070.5 申请日 -
公开(公告)号 CN214797360U 公开(公告)日 2021-11-19
申请公布号 CN214797360U 申请公布日 2021-11-19
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 徐爱民;顾标琴 申请(专利权)人 江苏扬杰润奥半导体有限公司
代理机构 南京源点知识产权代理有限公司 代理人 黄启兵
地址 225000江苏省扬州市广陵产业园创业路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体元件制造用具技术领域,尤其涉及一种硅板提篮。其包括:立板、限位杆及提手,两立板相对间隔设置,限位杆连接在两立板之间,限位杆上间隔开设有限位槽,提手两端分别连接两立板。本实用新型用于解决硅板搬运不方便的问题。利用两立板及连接在立板之间的限位杆形成放置硅板的框架结构,间隔设置在限位杆上的限位槽分隔放置各硅板,保证硅板之间互不接触,且方便每块硅板的取出,连接在立板上的提手方便对整体大重量的硅板及提篮的提起搬运。