一种芯片涂胶装置

基本信息

申请号 CN202121477923.8 申请日 -
公开(公告)号 CN215918040U 公开(公告)日 2022-03-01
申请公布号 CN215918040U 申请公布日 2022-03-01
分类号 B05C9/04(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 徐爱民;顾标琴 申请(专利权)人 江苏扬杰润奥半导体有限公司
代理机构 南京源点知识产权代理有限公司 代理人 潘云峰
地址 225000江苏省扬州市广陵产业园创业路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体设备技术领域,尤其涉及一种芯片涂胶装置。其包括旋转伸缩组件、胶盒及驱动机构,旋转伸缩组件的伸缩轴端部设置有用于吸附芯片的吸附头,胶盒中转动设置有与芯片周缘相匹配的滚轮,驱动机构输出端上设置有用于放置胶盒的连接臂。用于解决芯片台面涂胶效率低的问题。利用旋转伸缩组件上的伸缩轴端部设置的吸附头吸住芯片进行旋转,驱动机构通过连接臂带动胶盒靠近旋转的芯片,将胶盒中的滚轮与芯片周缘接触,将胶盒中的胶液通过滚轮的随动旋转均匀涂抹在芯片上,完成芯片的涂胶操作,整体操作方便,同时通过滚轮与芯片周缘接触转动,一次性完成对周缘台面位置的双面涂胶,减少操作步骤,提高涂胶效率。