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一种磷扩散硅舟

基本信息

申请号 CN202121483065.8 申请日 -
公开（公告）号 CN215496651U 公开（公告）日 2022-01-11
申请公布号 CN215496651U 申请公布日 2022-01-11
分类号 H01L21/673（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 徐爱民;顾标琴 申请（专利权）人 江苏扬杰润奥半导体有限公司
代理机构 南京源点知识产权代理有限公司 代理人 潘云峰
地址 225000江苏省扬州市广陵产业园创业路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体制作设备技术领域，尤其涉及一种磷扩散硅舟。其包括舟本体，沿舟本体轴向间隔开设有若干组卡槽，卡槽包括间隔设置的槽一和槽二，槽一和槽二用于放置相背而立的硅片，槽一和槽二间距设置为d，两相邻卡槽间距设置为D，D大于d。本实用新型用于解决磷扩散效率低的问题。由于在硅片在进行磷扩散时，硅片的阳极面不需要接触扩散源，则将每组卡槽中的槽一和槽二的间距设置为小于两相邻卡槽的间距，而槽一和槽二中相背放置了两阳极面相对的硅片，减小了相背放置两硅片之间的间距，减少整个硅舟的长度，提高硅舟的承载能力，同样的扩散系统中可以放入更多的硅舟用于扩散，提高了磷扩散效率。