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一种扩散炉用扰流装置

基本信息

申请号 CN202120909439.1 申请日 -
公开（公告）号 CN215481425U 公开（公告）日 2022-01-11
申请公布号 CN215481425U 申请公布日 2022-01-11
分类号 C30B31/16（2006.01）I;C30B31/18（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐爱民;顾标琴 申请（专利权）人 江苏扬杰润奥半导体有限公司
代理机构 南京源点知识产权代理有限公司 代理人 黄启兵
地址 225000江苏省扬州市广陵产业园创业路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体制作设备技术领域，尤其涉及一种扩散炉用扰流装置。其包括迎风板、背风板及连接杆，迎风板上周向间隔布置有若干进气孔，背风板上周向间隔设置有若干出气孔，出气孔半径小于进气孔，连接杆连接迎风板和背风板。本实用新型用于解决保持硅片扩散一致性困难的问题。迎风板上设置的进气孔将炉管内流经的气体保证通过大部分，通过连接杆与迎风板连接的背风板上的孔径小于进气孔的出气孔再次将气体进行均匀分流，经过进气孔和出气孔的气体能够较好的保持稳定的流速和流量大小，保证后续硅片在扩散时的一致性。