一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统

基本信息

申请号 CN201320104279.9 申请日 -
公开(公告)号 CN203222487U 公开(公告)日 2013-10-02
申请公布号 CN203222487U 申请公布日 2013-10-02
分类号 C01B33/107(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 李俊;朱宝毅;陈惟勤;刘芳 申请(专利权)人 江西景德半导体新材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 333000 江西省景德镇市高新区梧桐大道6号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统,包括导热油加热装置(4)、导热油降温装置(5)、流化床反应器(2)、指形管(1)、导热油泵(6),所述导热油加热装置(4)通过管道一(9)与设置在流化床反应器(2)内的指形管(1)相连接,所述指形管(1)通过管道二(12)与导热油降温装置入油管(10)和导热油泵入油管(11)相连接,所述导热油降温装置出油管(13)和导热油泵出油管(14)分别与管道(9)相连,所述管道二(12)上连接有过滤器(3)。本导热油过滤循环系统结构简单、性能稳定、杜绝了三氯氢硅合成过程中导热油管道堵塞现象的出现,因此该系统具有广阔的市场前景。