一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统
基本信息
| 申请号 | CN201320104292.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203220842U | 公开（公告）日 | 2013-10-02 |
| 申请公布号 | CN203220842U | 申请公布日 | 2013-10-02 |
| 分类号 | B01D53/18(2006.01)I;C01B7/07(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 樊禄祺;王启海;陶拥军;汤建波;陈立志 | 申请（专利权）人 | 江西景德半导体新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 333000 江西省景德镇市高新区梧桐大道6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器（1）、氯硅烷液体缓冲罐（2）、泵（3）、氯化氢和氢气气体压缩机（4）、吸收塔（5）、换热器（6）、解析塔（7），本系统将解析塔（7）输出的高温氯硅烷液体和氯硅烷液体缓冲罐（2）输出的低温氯硅烷液体利用换热器（6）进行热交换，既降低了生产成本、简化了生产工艺，又达到了节能降耗的目的，因此该系统具有广阔的市场前景。 |
