一种HCl尾气中氯硅烷去除系统
基本信息
| 申请号 | CN201320104283.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203222476U | 公开（公告）日 | 2013-10-02 |
| 申请公布号 | CN203222476U | 申请公布日 | 2013-10-02 |
| 分类号 | C01B7/07(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 游鹏程;王启海;陈长海;胡有平;陈义龙 | 申请（专利权）人 | 江西景德半导体新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 333000 江西省景德镇市高新区梧桐大道6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种HCl尾气中氯硅烷去除系统，包括洗涤罐（3）、文丘里洗涤器（2）、液位计（5）、泵（9）、过滤器（8）、HCl尾气输入管道（1）、饱和浓酸输入管道（6），饱和浓酸循环管道（10）、饱和浓酸输出管道（7）、HCl气体排出管道（4）、固体颗粒排出管道（11），本系统利用饱和浓酸经文丘里洗涤器循环洗涤HCl尾气，将HCl尾气中氯硅烷水解，避免了HCl气体将固体水解物带入HCl吸收装置，极大降低了酸中固体杂质的含量，该系统既简化了生产工艺，又提高了生产效率，因此该系统具有广阔的市场前景。 |
