一种维持隔膜压缩机压力平衡系统
基本信息
| 申请号 | CN201320104316.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203223368U | 公开（公告）日 | 2013-10-02 |
| 申请公布号 | CN203223368U | 申请公布日 | 2013-10-02 |
| 分类号 | F04B49/08(2006.01)I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 朱宝毅;邓新贵;李俊;陈惟勤;刘芳 | 申请（专利权）人 | 江西景德半导体新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 333000 江西省景德镇市高新区梧桐大道6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种维持隔膜压缩机压力平衡系统，包括压缩机前缓冲罐（1）、压缩机后缓冲罐（2）、压缩机（3）、低压工艺气体导入管道（4）、高压工艺气体补充管道（5）、工艺气体导出管道（6）、工艺气体压力平衡连接管道（10），所述工艺气体压力平衡连接管道（10）上设置有阀门（9）和自动调节阀（7），所述阀门（9）和自动调节阀（7）之间设置有惰性气体导入管道（8），本实用新型利用补充惰性气体的方法，避免开启压缩机自身平衡系统，既保证了系统的输出，又防止了因补充高压工艺气体携带微量杂质，而导致压缩机的膜片损坏的情况发生，该系统既简化了生产工艺，又提高了生产效率，因此该系统具有广阔的市场前景。 |
