一种蓝宝石单晶生长炉炉体冷却系统
基本信息
| 申请号 | CN201320861646.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203653759U | 公开（公告）日 | 2014-06-18 |
| 申请公布号 | CN203653759U | 申请公布日 | 2014-06-18 |
| 分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 于国建;张婉君;刘耀华;刘星;高玉强 | 申请（专利权）人 | 中国光大银行股份有限公司济南分行 |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 | 代理人 | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 地址 | 250000 山东省济南市历下区高新开发区新泺大街2008号银荷大厦3-409 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蓝宝石单晶生长炉炉体冷却系统，包括炉体和炉膛，所述炉体上部设置有炉盖Ⅰ和炉盖Ⅱ，所述炉体由隔板Ⅰ均匀分为至少四个腔体，每个腔体上设置有进水口Ⅰ和出水口Ⅰ；所述炉盖Ⅰ内由隔板Ⅱ分为两部分，所述隔板Ⅱ两侧设置有进水口Ⅱ和出水口Ⅱ；所述炉盖Ⅱ为中空，所述炉盖Ⅱ上设置有进水口Ⅲ和出水口Ⅲ；所述炉盖Ⅱ上设置有观察口Ⅰ和观察口Ⅱ。本实用新型结构简单、方便实用，通过调节进出水口处的冷却循环水的流速来调控温场，避免了温场分布不均匀出现的蓝宝石单晶粘锅现象，从而生长出高质量的蓝宝石单晶，提高了晶体的合格率，降低了生产成本。 |
