一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210374871.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114759897A | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN114759897A | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 高安明;姜伟 | 申请（专利权）人 | 浙江星曜半导体有限公司 |
| 代理机构 | 温州知远专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 325000浙江省温州市温州浙南科技城创新创业新天地一期1号楼506室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，属于薄膜体声波谐振器技术领域。本发明通过在谐振器中采用空气腔，在硅衬底和谐振器震荡区域之间形成金属和空气的交界面，从而在限制声波于震荡堆内的同时，解决了常规声波谐振器机械强度低的问题；通过对谐振器的顶电极进行特殊设计，采用具有凹陷和凸起的形状，解决了常规薄膜体声波谐振器Q值较低，杂散模较多的问题，从而有效的改善谐振器的陡峭性和插入损耗，并使得谐振器的频率响应更加平滑；通过在谐振器的顶电极上方额外引入一层压电材料作为钝化层，从而有效的隔绝谐振器震荡堆与外界环境，解决了常规薄膜体声波谐振器容易受外界环境影响，稳定性差的问题。 |
