谐振器及谐振器的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202210367023.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114665839A | 公开（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申请公布号 | CN114665839A | 申请公布日 | 2022-06-24 |
| 分类号 | H03H9/17（2006.01）I;H03H9/13（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 高安明;姜伟 | 申请（专利权）人 | 浙江星曜半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 325038浙江省温州市浙南科技城创新创业新天地一期1号楼506室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例属于电子器件技术领域，尤其涉及一种谐振器及谐振器的制作方法。包括衬底和依次层叠设置在衬底上的下电极层、压电层以及上电极层，衬底设置有悬空腔体，下电极层、压电层以及上电极层的重叠区域构成有效区域，上电极层具有凹陷结构，上电极层背离衬底的一侧还覆盖有凸起结构，凹陷结构和凸起结构均位于有效区域内，在平行于衬底的方向上，凹陷结构与凸起结构之间具有预设距离。通过在凹陷结构和凸起结构之间设置预设距离，有利于调整杂散模的整体的抑制效果，从而提高谐振器性能。 |
