一种真空校准系统及其检测方法
基本信息
申请号 | CN202110929956.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113670511A | 公开(公告)日 | 2021-11-19 |
申请公布号 | CN113670511A | 申请公布日 | 2021-11-19 |
分类号 | G01L21/00(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 吴青云;沈文科;缪文瑶;俞益;汪斐;张达;王雷;吴杰 | 申请(专利权)人 | 宁波爱发科真空技术研究院有限公司 |
代理机构 | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 张青云 |
地址 | 315000浙江省宁波市科技园区明珠路348号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及真空泵领域,公开了一种真空校准系统及其检测方法,其技术方案要点是包括处理模块、第一接口管路和第二接口管路,第一接口管路用于与产品连接,第二接口管路用于与抽空设备连接,可以实时检测到产品的真空度,知道产品是否合格,并且在检测到数据异常时,通过第二检测单元和标准容器来判定抽空设备是否损坏,抽空设备多次对标准容器进行抽空,通过放气阀实现将空气导入标准容器,并将多次抽空时的第二检测数据与性能参数作对比,如果两者偏差较大,则判定为抽空设备异常,提醒工作人员对抽空设备进行维修,可以检测是产品出现了问题还是抽空设备出现了问题,无需人工或额外的检测设备进行检测,可以实现自检。 |
